国家/地区 美国(8) 韩国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(8) C(7) H(5)
IPC大类 B44(8)
IPC小类 B44C(8) B32B(7) C01B(6)
B01J(2) B82Y(2) C03C(2)
C23C(2) C23F(2) H01L(2)
IPC B44C001/22(7) C01B031/04(5) C01B031/02(4)
B32B003/10(2) C03C025/68(2) C23F001/00(2)
发明人 CHOI J(3) HONG B H(2)
公开年 2009(4) 2010(4)
申请年 2009(8)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(2) UNIV SUNGKYU.(2)